Cymer 是ASML集团中的公司，UV光源是在ASML组织领导下开发的。并非美国原创的，

来源: 大洋bridge 于 2024-03-27 17:05:02 [] [博客] [旧帖] [给我悄悄话] 本文已被阅读： 次 (0 bytes)

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• 相当于ASML把EUV光源的开发地点放到美国，而不是美国原生的独家产品， -大洋bridge- ♂ 给 大洋bridge 发送悄悄话 大洋bridge 的博客首页 (0 bytes) () 03/27/2024 postreply 17:06:00

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