可能增透膜对于太短的波长无效?甚至有害?
可能还没找到哪种金属氧化物适合EUV那个波段。
当人类进入纳米时代,眼看着很多革命性的东西出现了。
纳米时代的制造应该反过来还会推动量子力学的发展和完善!哈哈当年李扬赶上量子力学的末班车,现在中国人又赶上了纳米时代的制造
gweipwu
2026-01-03 17:55:25可能增透膜对于太短的波长无效?甚至有害?