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是的,谁做出波长最短,稳定可靠,功率足够,谁就挣大钱,可能都会为此得诺奖?

gweipwu 2026-01-03 17:38:40 ( reads)

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gweipwu

2026-01-03 18:05:30

请看:“清华大学在光刻机光源领域的研发目前集中在稳态微聚束(SSMB)极紫外(EUV)光源技术,。。。