反射镜使极紫外损失一半，而使用透镜会导致光线在聚焦到硅晶片上之前几乎完全被吸收。
薄膜光学里说金属氧化物薄膜可以增加透射能力，不知道是哪个波段的。
可能增透膜对于太短的波长无效？甚至有害？
可能还没找到哪种金属氧化物适合EUV那个波段。
当人类进入纳米时代，眼看着很多革命性的东西出现了。
纳米时代的制造应该反过来还会推动量子力学的发展和完善！哈哈当年李扬赶上量子力学的末班车，现在中国人又赶上了纳米时代的制造
半垧
2026-01-03 15:24:38反射镜使极紫外损失一半，而使用透镜会导致光线在聚焦到硅晶片上之前几乎完全被吸收。